Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники : учебное пособие; [для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии"] / Ф.И. Григорьев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электроники и математики (Техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Московский государственный институт электроники и математики, 2006Физическая характеристика: 36 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-94506-136-0 Библиография: Библиогр.: с. 35 (9 назв.).Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Ионно-плазменное нанесение -- Учебные издания для высших учебных заведений | Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.13-060.7я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2006-4/15370 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 881 | Доступно | 2180875 |
ионно-плазменное нанесение тонких пленок
Библиогр.: с. 35 (9 назв.)