Труды Института общей физики. Т.14: Технологические проблемы микроэлектроники
русский (rus)/Технологические проблемы микроэлектроники .Технологические проблемы микроэлектроники.Технологические проблемы микроэлектроники.Б. м./, 1988 ( ). - 1988.Технологические проблемы микроэлектроники. Б. м., 1988 .Труды Института общей физики / АН СССР. Ин-т общ. физикиТ.14