Труды Института общей физики. Т.14: Технологические проблемы микроэлектроники
Сводное описание: Труды Института общей физики / АН СССР. Ин-т общ. физикиЯзык: русский.Выходные данные: Б. м., 1988Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи