Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography
Ик 2003-4/250 английский/Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography / A.E. Stepanov, N.V. Suetin, V.C Roerich.Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography / A.E. Stepanov, N.V. Suetin, V.C Roerich.Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography.[М.]/ЦНИИатоминформ/, 2003 ( ). - ЦНИИатоминформ, 2003. - 16 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт ТРИНИТИ / Гос. науч. центр Рос. Федерации Троиц. ин-т инновац. и термоядер. исслед. ; 102-A).Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography. [М.], 2003 .
В вып. дан.: Численное исследование излучения плазмы различных элементов в приложении к разработке источников ультрафиолетового излучения для литографии / А.Е. Степанов, Н.В. Суетин, В.К. Рерих. - Рез. на рус. яз. - Библиогр.: с. 15-16 (19 назв.). Библиогр.: с. 15-16 (19 назв.).Численное исследование излучения плазмы различных элементов в приложении к разработке источников ультрафиолетового излучения для литографии/Литография/М831/
В вып. дан.: Численное исследование излучения плазмы различных элементов в приложении к разработке источников ультрафиолетового излучения для литографии / А.Е. Степанов, Н.В. Суетин, В.К. Рерих. - Рез. на рус. яз. - Библиогр.: с. 15-16 (19 назв.). Библиогр.: с. 15-16 (19 назв.).Численное исследование излучения плазмы различных элементов в приложении к разработке источников ультрафиолетового излучения для литографии/Литография/М831/