Подробности
| 000 -МАРКЕР |
|---|
| контрольное поле |
01887nam0a2200325 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ |
|---|
| контрольное поле |
RU\NLR\b_ik\101220 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ |
|---|
| контрольное поле |
20250616225057.0 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА |
|---|
| Идентификатор записи |
(NLR Aleph) 002175101 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ |
|---|
| Данные общей обработки |
20031013d2003 |||y0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА |
|---|
| Язык текста, звукозаписи и т.д. |
английский |
| Язык резюме |
русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА |
|---|
| Страна публикации |
российская федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ |
|---|
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе |
a ||||||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ |
|---|
| Основное заглавие |
Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography |
| Первые сведения об ответственности |
A.E. Stepanov, N.V. Suetin, V.C Roerich |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. |
|---|
| Место издания, распространения и т.д. |
[М.] |
| Имя издателя, распространителя и т. д. |
ЦНИИатоминформ |
| Дата издания, распространения и т.д. |
2003 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА |
|---|
| Специфическое обозначение материала и объем |
16 с. |
| Другие сведения о физической характеристике |
ил. |
| Размеры |
21 |
| 225 1# - СЕРИЯ |
|---|
| Основное заглавие серии |
Препринт ТРИНИТИ |
| Сведения об ответственности |
Гос. науч. центр Рос. Федерации Троиц. ин-т инновац. и термоядер. исслед. |
| Обозначение тома |
102-A |
| 300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ |
|---|
| Текст примечания |
В вып. дан.: Численное исследование излучения плазмы различных элементов в приложении к разработке источников ультрафиолетового излучения для литографии / А.Е. Степанов, Н.В. Суетин, В.К. Рерих |
| 300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ |
|---|
| Текст примечания |
Рез. на рус. яз. |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ |
|---|
| Текст примечания |
Библиогр.: с. 15-16 (19 назв.) |
| 517 0# - ДРУГИЕ ВАРИАНТЫ ЗАГЛАВИЯ |
|---|
| Вариант заглавия |
Численное исследование излучения плазмы различных элементов в приложении к разработке источников ультрафиолетового излучения для литографии |
| 606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ |
|---|
| Наименование темы |
Литография |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи |
1119920 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи |
RU\NLR\AUTH\66123822 |
| 686 4# - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ |
|---|
| Индекс |
М831 |
| 700 #1 - ИМЯ ЛИЦА - ПЕРВИЧНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Stepanov |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
A. E. |
| Код отношения |
Автор |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Suetin |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
N. V. |
| Расширение инициалов личного имени |
Nikolaj Vladislavovič |
| Код отношения |
Автор |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Rerich |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
V. K. |
| Код отношения |
Автор |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
|---|
| Страна |
российская федерация |
| Организация |
NLR |
| Дата составления |
20031013 |
| Правила каталогизации |
PSBO |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) |
|---|
| Тип экземпляра АБИС |
Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ |
|---|
| Название коллекции |
Национальная библиография |