Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии, учебное пособие
- 100 экз.9785733908878/[2012-32245]/русский/Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии : учебное пособие / Е.С. Горнев, Ю.И. Плотников, Н.И. Плотникова [и др.] ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Московский гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики".Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии : учебное пособие / Е.С. Горнев, Ю.И. Плотников, Н.И. Плотникова [и др.].Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии : учебное пособие.Москва/МГТУ МИРЭА/, 2012 ( ). - МГТУ МИРЭА, 2012. - 204 с. : ил. ; 21 см.Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии : учебное пособие. Москва, 2012 .
Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.). Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.).Нанометрология -- Учебные издания для высших учебных заведений/Микроэлектроника -- Метрологическое обеспечение -- Учебные издания для высших учебных заведений/Микросистемная техника -- Метрологическое обеспечение -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh2/З844.1-07я73-1/Ж10я73-1/Ж36я73-1/
Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.). Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.).Нанометрология -- Учебные издания для высших учебных заведений/Микроэлектроника -- Метрологическое обеспечение -- Учебные издания для высших учебных заведений/Микросистемная техника -- Метрологическое обеспечение -- Учебные издания для высших учебных заведений/nlr_sh2/nlr_sh2/nlr_sh2/З844.1-07я73-1/Ж10я73-1/Ж36я73-1/