Метрология в микроэлектронике, микросистемной технике и нанотехнологии : учебное пособие / Е.С. Горнев, Ю.И. Плотников, Н.И. Плотникова [и др.] ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Московский гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МГТУ МИРЭА, 2012Физическая характеристика: 204 с. : ил. ; 21 см.ISBN: 9785733908878 Библиография: Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.).Предметная рубрика - Тема: Нанометрология -- Учебные издания для высших учебных заведений | Микроэлектроника -- Метрологическое обеспечение -- Учебные издания для высших учебных заведений | Микросистемная техника -- Метрологическое обеспечение -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.1-07я73-1 ; Ж10я73-1 ; Ж36я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 198-201 (42 назв.)