Обзоры по электронной технике. Вып.1067: Ион литография, особенности и перспективы развития
русский (rus)/Ион литография, особенности и перспективы развития / Ю.С. Боков, А.Н. Шокин.Ион литография, особенности и перспективы развития / Ю.С. Боков, А.Н. Шокин.Ион литография, особенности и перспективы развития.Б. м./, 1984 ( ). - 1984. - (... ; Вып.1067 ; 1984, Вып.6).Ион литография, особенности и перспективы развития. Б. м., 1984 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.1067