Обзоры по электронной технике. Вып.1067: Ион литография, особенности и перспективы развития / Ю.С. Боков, А.Н. Шокин
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1984Серия: ; Вып.1067Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи