Обзоры по электронной технике. Вып.289: Ионное легирование при изготовлении МОП-структур
русский (rus)/Ионное легирование при изготовлении МОП-структур / Л.В. Петрова.Ионное легирование при изготовлении МОП-структур / Л.В. Петрова.Ионное легирование при изготовлении МОП-структур., 1971 ( ). - 1971. - (... ; Вып.289 ; 1971, Вып.7).Ионное легирование при изготовлении МОП-структур. 1971 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.289