Обзоры по электронной технике. Вып.289: Ионное легирование при изготовлении МОП-структур / Л.В. Петрова
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: 1971Серия: ; Вып.289Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи