Обзоры по электронной технике. Вып.202: Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов, (Реф.-аналит. обзор) Ч.1
русский (rus)/Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Ч.1 : (Реф.-аналит. обзор) / А.В. Бакун, В.В. Щеглова.Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов : (Реф.-аналит. обзор) / А.В. Бакун, В.В. Щеглова.Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов : (Реф.-аналит. обзор).Б. м./, 1974 ( ). - 1974. - (... ; Вып.202 ; 1974, Вып.4).Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов : (Реф.-аналит. обзор). Б. м., 1974 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.202