Обзоры по электронной технике. Вып.202: Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Ч.1 : (Реф.-аналит. обзор) / А.В. Бакун, В.В. Щеглова
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1974Серия: ; Вып.202Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи