Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии, (По данным отеч. и зарубеж. пат. информ. за 1968-1982 г.)
русский/Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. пат. информ. за 1968-1982 г.) / С.П. Верходанов, А.М. Мясников.Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. пат. информ. за 1968-1982 г.) / С.П. Верходанов, А.М. Мясников.Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. пат. информ. за 1968-1982 г.).Б. м./, 1983 ( ). - 1983. - (... ; Вып.943 ; 1983, Вып.4).Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. пат. информ. за 1968-1982 г.). Б. м., 1983 .