Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии : (По данным отеч. и зарубеж. пат. информ. за 1968-1982 г.) / С.П. Верходанов, А.М. Мясников
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 1983, Б. м.Серия: ; Вып.943 Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи