Обзоры по электронной технике. Вып.1372: Источники излучения для рентгеновской литографии
русский (rus)/Источники излучения для рентгеновской литографии / С.А. Иванов и др.Источники излучения для рентгеновской литографии / С.А. Иванов и др.Источники излучения для рентгеновской литографии.Б. м./, 1988 ( ). - 1988. - (... ; Вып.1372 ; 1988, Вып.3).Источники излучения для рентгеновской литографии. Б. м., 1988 .Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Вып.1372