Обзоры по электронной технике. Вып.1372: Источники излучения для рентгеновской литографии / С.А. Иванов и др.
Сводное описание: Обзоры по электронной технике / М-во электронной пром-сти СССР. Ин-т "Электроника"Язык: русский.Выходные данные: Б. м., 1988Серия: ; Вып.1372Коллекция: Национальная библиография ; Русская периодика Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи