Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики
[2012-71660]/русский (rus)/Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики / Д.А. Ким, В.Г. Новиков, Г.В. Долголетова [и др.].Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики / Д.А. Ким, В.Г. Новиков, Г.В. Долголетова [и др.].Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики.Москва/ИПМ/, 2012 ( ). - ИПМ, 2012. - 23 с. : цв. ил. ; 21 см. - (Препринт / Ин-т прикл. математики им. М.В. Келдыша Рос. акад. наук ; N° 51 за 2012 г.).Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики. Москва, 2012 .
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.). Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.).Лазерная плазма -- Взаимодействие с поверхностью -- Математическое моделирование/Интегральные схемы -- Производство -- Применение рентгенолитографии/З844.15-06/
Рез. на англ. яз. - Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.). Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.).Лазерная плазма -- Взаимодействие с поверхностью -- Математическое моделирование/Интегральные схемы -- Производство -- Применение рентгенолитографии/З844.15-06/