Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной IN-LINE в программу радиационной газодинамики / Д.А. Ким, В.Г. Новиков, Г.В. Долголетова [и др.]
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Москва : ИПМ, 2012Физическая характеристика: 23 с. : цв. ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; N° 51 за 2012 г.Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.).Предметная рубрика - Тема: Лазерная плазма -- Взаимодействие с поверхностью -- Математическое моделирование | Интегральные схемы -- Производство -- Применение рентгенолитографии Другие классификации: З844.15-06Коллекция: НБР Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.)