Активируемые процессы технологии микроэлектроники, Межвуз. темат. науч. сборник
русский (rus)/Активируемые процессы технологии микроэлектроники : Межвуз. темат. науч. сборник / М-во высш.и средн. спец. образ. РСФСР Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калымова.Активируемые процессы технологии микроэлектроники : Межвуз. темат. науч. сборник / М-во высш.и средн. спец. образ. РСФСР Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калымова.Активируемые процессы технологии микроэлектроники : Межвуз. темат. науч. сборник.Таганрог/, 1976-1988 ( ). - 1976-1988.Активируемые процессы технологии микроэлектроники : Межвуз. темат. науч. сборник. Таганрог, 1976-1988 .Прекр. на Вып.9 (1988).
Отпеч. множит. аппаратом.Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова /
Отпеч. множит. аппаратом.Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова /