Активируемые процессы технологии микроэлектроники : Межвуз. темат. науч. сборник / М-во высш.и средн. спец. образ. РСФСР Таганрог. радиотехн. ин-т им. В. Д. Калымова
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: Таганрог, 1976-1988Коллекция: Русская периодика Тип экземпляра: СборникНет реальных экземпляров для этой записи
Отпеч. множит. аппаратом
Прекр. на Вып.9 (1988)