Описание RUSMARC Карточка

Вакуумтермическое оборудование. Разд. [1]: Виды нагрева в микроэлектронике

80-4/15781 русский/Виды нагрева в микроэлектронике .Виды нагрева в микроэлектронике.Виды нагрева в микроэлектронике.Б. м./, 1979 ( ). - 1979. - 72 с. : ил.Виды нагрева в микроэлектронике. Б. м., 1979 .
     Библиогр.: с. 71. Библиогр.: с. 71.Вакуумтермическое оборудование : Курс лекций / Под ред. проф. В.В. КрапухинаРазд. [1]