Вакуумтермическое оборудование. Разд. [1]: Виды нагрева в микроэлектронике
Сводное описание: Вакуумтермическое оборудование : Курс лекций / Под ред. проф. В.В. КрапухинаЯзык: русский.Выходные данные: Б. м., 1979Физическая характеристика: 72 с. : ил.Библиография: Библиогр.: с. 71.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 80-4/15781 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6656401-10 |
Библиогр.: с. 71