Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа
89-6/727 русский (rus)/Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа .Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа.Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа.Черноголовка/[М.]/Б. и./Ин-т пробл. технологии и микроэлектроники и особочистых материалов/, 1988 ( ). - Б. и., Ин-т пробл. технологии и микроэлектроники и особочистых материалов, 1988. - 21 с. : граф. ; 22 см. - (Препринт / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов).Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа. Черноголовка, [М.], 1988 .
Библиогр.: с. 20-21. Библиогр.: с. 20-21.
Библиогр.: с. 20-21. Библиогр.: с. 20-21.