Исследование методами ИК-спектроскопии и резерфордовского обратного рассеяния пленок и процессов их образования при лазерно-химическом осаждении из паров пентакарбонила железа
Язык: русский.Выходные данные: Черноголовка ; [М.] : Б. и. ; Ин-т пробл. технологии и микроэлектроники и особочистых материалов, 1988Физическая характеристика: 21 с. : граф. ; 22 см.Серия: Препринт Библиография: Библиогр.: с. 20-21.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 89-6/727 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5791201-10 |
Библиогр.: с. 20-21