Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике, Сб. науч. тр.
Desideratum [81-11699]/русский (rus)/Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике : Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; Науч. ред. к. т. н. Дубовой Н.Д.Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике : Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники.Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике : Сб. науч. тр.Москва/Б. и./, 1979 (Вып. дан. 1980) ( ). - Б. и., 1979 (Вып. дан. 1980). - 161 с. : ил. ; 21 см.Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике : Сб. науч. тр. Москва, 1979 (Вып. дан. 1980) .
Загл. обл.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники: "Автоматизация оборуд. и технол. процессов в микроэлектронике".з844.1-06-5-05я43/ВКП(б) Лысогорский районный комитет /
Загл. обл.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники: "Автоматизация оборуд. и технол. процессов в микроэлектронике".з844.1-06-5-05я43/ВКП(б) Лысогорский районный комитет /