Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике : Сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; Науч. ред. к. т. н. Дубовой Н.Д.
Заглавие обложки: : Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники: "Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике"Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1979 (Вып. дан. 1980)Физическая характеристика: 161 с. : ил. ; 21 см.Примечания: Загл. обл.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники: "Автоматизация оборуд. и технол. процессов в микроэлектронике".Другие классификации: ( ) з844.1-06-5-05я43Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд , подручный | Desideratum (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6442584-20 |
Загл. обл.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники: "Автоматизация оборуд. и технол. процессов в микроэлектронике"