Оборудование полупроводникового производства, [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов]
86-5/4861 Т1 З85/Б-695 русский/Оборудование полупроводникового производства : [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов].Оборудование полупроводникового производства : [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов].Оборудование полупроводникового производства : [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов].М./Машиностроение/, 1986 ( ). - Машиностроение, 1986. - 262, [1] с. : ил. ; 22 см.Оборудование полупроводникового производства : [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов]. М., 1986 .
Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.). - Предм. указ.: с. 259-263. Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.). Предм. указ.: с. 259-263.
Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.). - Предм. указ.: с. 259-263. Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.). Предм. указ.: с. 259-263.