Оборудование полупроводникового производства : [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов]
Язык: русский.Выходные данные: М. : Машиностроение, 1986Физическая характеристика: 262, [1] с. : ил. ; 22 см.Библиография: Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.); Предм. указ.: с. 259-263.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З85/Б-695 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-318195 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 86-5/4861 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5860428-10 |
Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.)
Предм. указ.: с. 259-263