Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления
П11/2814 русский (rus)/Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника".Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника".Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления.Москва/Б. и./, 1977 ( ). - Б. и., 1977. - 48 с. : ил. ; 21 см. - (Зарубежная электронная техника ; 17 (163)).Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления. Москва, 1977 .
На 3-й с. авт.: Лабунов, В.А., Мельянец, Г.И., Вальков, Б.И. [и др.]. - Библиогр.: с. 44-46, 48. Библиогр.: с. 44-46, 48.
На 3-й с. авт.: Лабунов, В.А., Мельянец, Г.И., Вальков, Б.И. [и др.]. - Библиогр.: с. 44-46, 48. Библиогр.: с. 44-46, 48.