Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1977Физическая характеристика: 48 с. : ил. ; 21 см.Серия: Зарубежная электронная техника ; 17 (163)Примечания: На 3-й с. авт.: Лабунов, В.А., Мельянец, Г.И., Вальков, Б.И. [и др.].Библиография: Библиогр.: с. 44-46, 48.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2814 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6478285-10 |
На 3-й с. авт.: Лабунов, В.А., Мельянец, Г.И., Вальков, Б.И. [и др.]
Библиогр.: с. 44-46, 48