Сборник научных трудов Серия "Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике"
81-50К/4624 русский (rus)/Сборник научных трудов, Серия "Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике" / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т электронной техники ; [Отв. ред. д. т. н. проф. В.З. Петрова].Сборник научных трудов / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т электронной техники.Сборник научных трудов.Москва/МИЭТ/, 1979 (вып. дан. 1980) ( ). - МИЭТ, 1979 (вып. дан. 1980). - 185 с. : ил. ; 20 см.Сборник научных трудов. Москва, 1979 (вып. дан. 1980) .
Библиогр. в конце статей. - ДСП. Экз. № 4. Библиогр. в конце статей.Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике/
Библиогр. в конце статей. - ДСП. Экз. № 4. Библиогр. в конце статей.Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике/