Сборник научных трудов. Серия "Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектронике" / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т электронной техники ; [Отв. ред. д. т. н. проф. В.З. Петрова]
ДСП. Экз. № 4 Другие варианты заглавия: : Неоргагические диэлектрики и пленки в микроэлектроникеЯзык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 1979 (вып. дан. 1980)Физическая характеристика: 185 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр. в конце статей.Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 4.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд литературы для служебного пользования | 81-50К/4624 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6492552-10 |
Библиогр. в конце статей
ДСП. Экз. № 4