Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов
76-6/6497 [76-49112]/[Рг11146-76]/русский (rus)/Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов / Центр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти им. акад. С.И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении.Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов / Центр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти им. акад. С.И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении.Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов.Москва/Машиностроение/, 1976 ( ). - Машиностроение, 1976. - 55 с. : ил. ; 22 см.Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов. Москва, 1976 .
Библиогр.: с. 54. Библиогр.: с. 54.
Библиогр.: с. 54. Библиогр.: с. 54.