Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов / Центр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти им. акад. С.И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Машиностроение, 1976Физическая характеристика: 55 с. : ил. ; 22 см.Библиография: Библиогр.: с. 54.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 76-6/6497 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7359346-10 |
Библиогр.: с. 54