Литографические процессы в микроэлектронике, Учеб. пособие
96-4/9148 - 150 экз.5-88151-043-7/русский/Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб. пособие / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. Перм. гос. техн. ун-т.Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб. пособие / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. Перм. гос. техн. ун-т.Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб. пособие.Пермь/Перм. гос. техн. ун-т/, 1995 ( ). - Перм. гос. техн. ун-т, 1995. - 58 с. : ил. ; 20 см.Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб. пособие. Пермь, 1995 .
Библиогр.: с. 55-57. Библиогр.: с. 55-57.
Библиогр.: с. 55-57. Библиогр.: с. 55-57.