Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб. пособие / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. Перм. гос. техн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: Пермь : Перм. гос. техн. ун-т, 1995Физическая характеристика: 58 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-88151-043-7 Библиография: Библиогр.: с. 55-57.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 96-4/9148 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5317844-10 |
Библиогр.: с. 55-57