Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем, (Материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 21-22 октября 1975 г., г. Москва)
П11/2650 [П1426-77]/русский/Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем : (Материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 21-22 октября 1975 г., г. Москва) / [Под ред. к. т. н. И.Г. Блинова].Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем : (Материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 21-22 октября 1975 г., г. Москва) / [Под ред. к. т. н. И.Г. Блинова].Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем : (Материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 21-22 октября 1975 г., г. Москва).Москва/Б. и./, 1976 ( ). - Б. и., 1976. - 40 с. : ил. ; 21 см. - (Министерство электронной промышленности СССР. ЦНИИ "Электроника". Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике ; Вып. 54 ; Вып. 2).Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем : (Материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 21-22 октября 1975 г., г. Москва). Москва, 1976 .
Библиогр.: с. 21. Библиогр.: с. 21.
Библиогр.: с. 21. Библиогр.: с. 21.