Разработка и опыт эксплуатации комплексов оборудования для изготовления интегральных схем : (Материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 21-22 октября 1975 г., г. Москва) / [Под ред. к. т. н. И.Г. Блинова]
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1976Физическая характеристика: 40 с. : ил. ; 21 см.Серия: Министерство электронной промышленности СССР. ЦНИИ "Электроника". Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике ; Вып. 54Библиография: Библиогр.: с. 21. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2650 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7687311-10 |
Библиогр.: с. 21