Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
87-4/11666 русский (rus)/Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники / Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С.И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато- и приборостроению (II концентр.).Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники / Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С.И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато- и приборостроению (II концентр.).Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники.М./Машиностроение/, 1987 ( ). - Машиностроение, 1987. - 71 с. : ил. ; 21 см.Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники. М., 1987 .
Библиогр.: с. 70 (8 назв.). Библиогр.: с. 70 (8 назв.).
Библиогр.: с. 70 (8 назв.). Библиогр.: с. 70 (8 назв.).