Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники / Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С.И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато- и приборостроению (II концентр.)
Язык: русский.Выходные данные: М. : Машиностроение, 1987Физическая характеристика: 71 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 70 (8 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 87-4/11666 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5668272-10 |
Библиогр.: с. 70 (8 назв.)