Перспективные направления микротехнологии, Учеб. пособие, [Для студентов специальности 200300 и магистров направления 550700]
98-4/13926 - 50 экз.5-7629-0198-X/русский/Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие : [Для студентов специальности 200300 и магистров направления 550700] / А.Д. Смирнов, В.Я. Урицкий ; М-во общ. и проф. образования РФ. Санкт-Петербург. гос. электротехн. ун-т.Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие : [Для студентов специальности 200300 и магистров направления 550700] / А.Д. Смирнов, В.Я. Урицкий.Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие : [Для студентов специальности 200300 и магистров направления 550700].СПб./ГЭТУ/, 1997 ( ). - ГЭТУ, 1997. - 32 с. : ил. ; 20 см.Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие : [Для студентов специальности 200300 и магистров направления 550700]. СПб., 1997 .
Библиогр.: с. 31. Библиогр.: с. 31.
Библиогр.: с. 31. Библиогр.: с. 31.