Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие; [Для студентов специальности 200300 и магистров направления 550700] / А.Д. Смирнов, В.Я. Урицкий ; М-во общ. и проф. образования РФ. Санкт-Петербург. гос. электротехн. ун-т
Язык: русский.Выходные данные: СПб. : ГЭТУ, 1997Физическая характеристика: 32 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7629-0198-X Библиография: Библиогр.: с. 31. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 98-4/13926 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5379662-10 |
Библиогр.: с. 31