Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов
2001-4/4252 2001-4/4252 [2000-42963]/русский (rus)/Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов / Ивин В. В., Махвиладзе Т. М.Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов / Ивин В. В., Махвиладзе Т. М.Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов.М./МАКС-пресс/, 2000 ( ). - МАКС-пресс, 2000. - 30 с. : ил. ; 21 см. - (Препринт / Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук ; N 22).Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов. М., 2000 .
Библиогр.: с. 28-30. Библиогр.: с. 28-30.Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Авторефераты диссертаций/18.31/37.83/З844.15-06/
Библиогр.: с. 28-30. Библиогр.: с. 28-30.Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Авторефераты диссертаций/18.31/37.83/З844.15-06/