Подробности
| 000 -МАРКЕР |
|---|
| контрольное поле |
01778nam0a2200385 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ |
|---|
| контрольное поле |
RU\NLR\bibl\139430 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ |
|---|
| контрольное поле |
20260408193324.0 |
| 021 ## - НОМЕР ГОСУДАРСТВЕННОЙ РЕГИСТРАЦИИ |
|---|
| Код страны |
Российская Федерация |
| Номер |
2000-42963 |
| Номер Листа государственной регистраци |
1989 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА |
|---|
| Идентификатор записи |
(NLR Aleph) 000136583 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ |
|---|
| Данные общей обработки |
20001227d2000 |||y0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА |
|---|
| Язык текста, звукозаписи и т.д. |
русский |
| Язык резюме |
английский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА |
|---|
| Страна публикации |
Российская Федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ |
|---|
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе |
a ||||||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ |
|---|
| Основное заглавие |
Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов |
| Первые сведения об ответственности |
Ивин В. В., Махвиладзе Т. М. |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. |
|---|
| Место издания, распространения и т.д. |
М. |
| Имя издателя, распространителя и т. д. |
МАКС-пресс |
| Дата издания, распространения и т.д. |
2000 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА |
|---|
| Специфическое обозначение материала и объем |
30 с. |
| Другие сведения о физической характеристике |
ил. |
| Размеры |
21 |
| 225 1# - СЕРИЯ |
|---|
| Основное заглавие серии |
Препринт |
| Сведения об ответственности |
Физ.-технол. ин-т Рос. акад. наук |
| Обозначение тома |
N 22 |
| 313 ## - ПРИМЕЧАНИЯ, ОТНОСЯЩИЕСЯ К ТЕМАТИЧЕСКОМУ ДОСТУПУ |
|---|
| Текст примечания |
интегральные схемы |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ |
|---|
| Текст примечания |
Библиогр.: с. 28-30 |
| 606 ## - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ |
|---|
| Наименование темы |
Интегральные схемы |
| Тематический подзаголовок |
Производство |
| -- |
Фотолитографический метод |
| Формальный подзаголовок |
Авторефераты диссертаций |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи |
RU\NLR\auth\661327006 |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи |
2208899 |
| 610 0# - НЕКОНТРОЛИРУЕМЫЕ ПРЕДМЕТНЫЕ ТЕРМИНЫ |
|---|
| Предметный термин |
Фотолитография - математические исследования |
| 610 0# - НЕКОНТРОЛИРУЕМЫЕ ПРЕДМЕТНЫЕ ТЕРМИНЫ |
|---|
| Предметный термин |
Микроэлектронные схемы интегральные - производство - математические исследования |
| 675 ## - УНИВЕРСАЛЬНАЯ ДЕСЯТИЧНАЯ КЛАССИФИКАЦИЯ (UDC/УДК) |
|---|
| Индекс |
776.001.573 |
| Издание |
3 |
| Язык издания |
rus |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ |
|---|
| Индекс |
18.31 |
| Код системы |
|
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ |
|---|
| Индекс |
37.83 |
| Код системы |
|
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ |
|---|
| Индекс |
З844.15-06 |
| 700 #1 - ИМЯ ЛИЦА - ПЕРВИЧНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Ивин |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода |
В. В. |
| Код отношения |
Автор |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ |
|---|
| Начальный элемент ввода |
Махвиладзе |
| Расширение инициалов личного имени |
Тариэль Михайлович |
| Код отношения |
Автор |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
|---|
| Страна |
Российская Федерация |
| Организация |
RKP |
| Дата составления |
20001227 |
| Правила каталогизации |
PSBO |
| 801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
|---|
| Страна |
Российская Федерация |
| Организация |
RKP |
| Дата составления |
20001227 |
| 801 #2 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ |
|---|
| Страна |
Российская Федерация |
| Организация |
NLR |
| Дата составления |
20040708 |
| Правила каталогизации |
rcr |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) |
|---|
| Тип экземпляра АБИС |
Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ |
|---|
| Название коллекции |
Национальная библиография |