Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films
английский (eng)/Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films / A. A. Fursenko, T. A. Khantuleva, Yu. N. Makarov, M. S. Ramm.Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films / A. A. Fursenko, T. A. Khantuleva, Yu. N. Makarov, M. S. Ramm.Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films.St.-Petersburg/ФТИ/, 1992 ( ). - ФТИ, 1992. - ; 20 см см. - (Preprint / Russ. acad. of sciences, A. F. Ioffe phys. techn. inst.).Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films. St.-Petersburg, 1992 .
На обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др. - На обл. надзаг. на рус. яз. - Рез. на рус. яз. - Библиогр. в конце томов. Библиогр. в конце томов.Тонкие пленки -- Осаждение -- Математическое моделирование/З844.13-01с11/
На обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др. - На обл. надзаг. на рус. яз. - Рез. на рус. яз. - Библиогр. в конце томов. Библиогр. в конце томов.Тонкие пленки -- Осаждение -- Математическое моделирование/З844.13-01с11/