Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films (Запись № 9248137)
[ простой вид ]
| 000 -МАРКЕР | |
|---|---|
| контрольное поле | 01601nam1a22003131i 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ | |
| контрольное поле | RU\INFOCOMM_322\NLR\5000184530 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ | |
| контрольное поле | 20260405115121.0 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА | |
| Идентификатор записи | (NLR Aleph) 009590652 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ | |
| Данные общей обработки | 20130219d1992 |||y0rusy50 ba |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | английский |
| Язык резюме | русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА | |
| Страна публикации | Российская Федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | y z ||||| |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ | |
| Основное заглавие | Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films |
| Первые сведения об ответственности | A. A. Fursenko, T. A. Khantuleva, Yu. N. Makarov, M. S. Ramm |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. | |
| Место издания, распространения и т.д. | St.-Petersburg |
| Имя издателя, распространителя и т. д. | ФТИ |
| Дата издания, распространения и т.д. | 1992 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА | |
| Размеры | 20 см |
| 225 1# - СЕРИЯ | |
| Основное заглавие серии | Preprint |
| Сведения об ответственности | Russ. acad. of sciences, A. F. Ioffe phys. techn. inst. |
| 300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ | |
| Текст примечания | На обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др. |
| 300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ | |
| Текст примечания | На обл. надзаг. на рус. яз. |
| 300 ## - ОБЩИЕ ПРИМЕЧАНИЯ | |
| Текст примечания | Рез. на рус. яз. |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ | |
| Текст примечания | Библиогр. в конце томов |
| 606 0# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ | |
| Наименование темы | Тонкие пленки |
| Тематический подзаголовок | Осаждение |
| -- | Математическое моделирование |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи | 1850851 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи | RU\NLR\AUTH\661129977 |
| 620 ## - МЕСТО И ДАТА ПУБЛИКАЦИИ, ИСПОЛНЕНИЯ И Т. Д. | |
| Страна | Санкт-Петербург |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ | |
| Индекс | З844.13-01с11 |
| Код системы | |
| 701 #1 - ИМЯ ЛИЦА - АЛЬТЕРНАТИВНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Материалы, к которым относится поле | rus |
| Графика поля | Латинская |
| Начальный элемент ввода | Fursenko |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | A. A. |
| Даты | 1927-2008 |
| Расширение инициалов личного имени | Aleksandr Aleksandrovič |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи | RU\NLR\AUTH\7745550 |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи | 28486 |
| 801 #1 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | Российская Федерация |
| Организация | Infocomm |
| Дата составления | 20130219 |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | Российская Федерация |
| Организация | INFOCOMM |
| Правила каталогизации | PSBO |
| 852 ## - МЕСТОНАХОЖДЕНИЕ И ШИФР ХРАНЕНИЯ | |
| Идентификатор организации | NLR |
| Шифр хранения (Call Number) | Т95 Д-4/361 |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) | |
| Тип экземпляра АБИС | Книга |
Нет доступных экземпляров.