Микролитография. Ч. 2
90-5/4807 Т1 З844.1/М-800 - 6700 экз.5-03-001717-8/русский (rus)/Ч. 2 / Перевод Д.Ю. Зарослова и др.Ч. 2 / Перевод Д.Ю. Зарослова и др.Ч. 2.Б. м./, 1990 ( ). - 1990. - 614-1239, [5] с. : ил.Ч. 2. Б. м., 1990 .
Перевод изд.: Semiconductor lithography / Wayne M. Moreau (New York; London). - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 1227-1235. Библиогр. в конце глав. Предм. указ.: с. 1227-1235.Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Пер. с англ. под ред. Р.Х. ТимероваЧ. 2
Перевод изд.: Semiconductor lithography / Wayne M. Moreau (New York; London). - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 1227-1235. Библиогр. в конце глав. Предм. указ.: с. 1227-1235.Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Пер. с англ. под ред. Р.Х. ТимероваЧ. 2