Микролитография. Ч. 2 / Перевод Д.Ю. Зарослова и др.
Сводное описание: Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Пер. с англ. под ред. Р.Х. ТимероваЯзык: русский.Выходные данные: Б. м., 1990Физическая характеристика: 614-1239, [5] с. : ил.ISBN: 5-03-001717-8 Примечания: Перевод изд.: Semiconductor lithography / Wayne M. Moreau (New York; London).Библиография: Библиогр. в конце глав; Предм. указ.: с. 1227-1235.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/М-800 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-278483 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 90-5/4807 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 8741281-10 |
Перевод изд.: Semiconductor lithography / Wayne M. Moreau (New York; London)
Библиогр. в конце глав
Предм. указ.: с. 1227-1235