Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование (Запись № 11966519)
[ простой вид ]
| 000 -МАРКЕР | |
|---|---|
| контрольное поле | 01851nam0a2200349 i 4500 |
| 001 - ИДЕНТИФИКАТОР ЗАПИСИ | |
| контрольное поле | RU\NLR\BIBL_A\011494978 |
| 005 - ИДЕНТИФИКАТОР ВЕРСИИ | |
| контрольное поле | 20241103094718.0 |
| 010 ## - МЕЖДУНАРОДНЫЙ СТАНДАРТНЫЙ НОМЕР КНИГИ (ISBN) | |
| Номер (ISBN) | 9785915592154 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА | |
| Идентификатор записи | (NILC)LIBNET\0000673284 |
| 035 ## - ДРУГИЕ СИСТЕМНЫЕ НОМЕРА | |
| Идентификатор записи | (NLR Aleph) 011494978 |
| 100 ## - ДАННЫЕ ОБЩЕЙ ОБРАБОТКИ | |
| Данные общей обработки | 20171012d2016 y0rusy50 ca |
| 101 0# - ЯЗЫК РЕСУРСА | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | русский |
| 102 ## - СТРАНА ПУБЛИКАЦИИ ИЛИ ПРОИЗВОДСТВА | |
| Страна публикации | российская федерация |
| 105 ## - ПОЛЕ КОДИРОВАННЫХ ДАННЫХ: ТЕКСТОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, МОНОГРАФИЧЕСКИЕ | |
| Кодированные данные о монографическом текстовом документе | y z 000 y |
| 200 1# - ЗАГЛАВИЕ И СВЕДЕНИЯ ОБ ОТВЕТСТВЕННОСТИ | |
| Основное заглавие | Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование |
| Сведения, относящиеся к заглавию | [учебно-справочное руководство] |
| Первые сведения об ответственности | В. Ю. Киреев |
| 210 ## - ПУБЛИКАЦИЯ, РАСПРОСТРАНЕНИЕ И ДР. | |
| Место издания, распространения и т.д. | Долгопрудный |
| Имя издателя, распространителя и т. д. | Интеллект |
| Дата издания, распространения и т.д. | 2016 |
| 215 ## - ФИЗИЧЕСКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА | |
| Специфическое обозначение материала и объем | 319 с. |
| Другие сведения о физической характеристике | ил. |
| Размеры | 22 |
| 313 ## - ПРИМЕЧАНИЯ, ОТНОСЯЩИЕСЯ К ТЕМАТИЧЕСКОМУ ДОСТУПУ | |
| Текст примечания | Расмотрены основные виды процессов нанолитографии в производстве интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами |
| 320 ## - ПРИМЕЧАНИЯ О НАЛИЧИИ В ДОКУМЕНТЕ БИБЛИОГРАФИИ / УКАЗАТЕЛЯ | |
| Текст примечания | Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.) |
| 517 0# - ДРУГИЕ ВАРИАНТЫ ЗАГЛАВИЯ | |
| Вариант заглавия | Нанолитография - процессы и оборудование |
| Язык заглавия | русский |
| 606 1# - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ | |
| Наименование темы | Интегральные схемы |
| Тематический подзаголовок | Производство |
| -- | Применение литографии |
| Формальный подзаголовок | Руководства, пособия и т.п. |
| Код системы | nlr_sh1 |
| -- | nlr_sh2 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи | RU\NLR\AUTH\661435294 |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи | 2408667 |
| 606 ## - НАИМЕНОВАНИЕ ТЕМЫ КАК ПРЕДМЕТ | |
| Наименование темы | Нанолитография |
| Формальный подзаголовок | Руководства, пособия и т.п |
| Код системы | nlr_sh2 |
| Идентификатор авторитетной/нормативной записи | RU\NLR\AUTH\6601591075 |
| Системный номер авторитетной/нормативной записи | 2272968 |
| 686 ## - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ | |
| Индекс | 30.36я73 |
| Издание | LBC/M |
| Код системы | |
| 686 1# - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ | |
| Индекс | З844.15-06я7-1 |
| 686 1# - ИНДЕКСЫ ДРУГИХ КЛАССИФИКАЦИЙ | |
| Индекс | М831я7-1 |
| 700 #1 - ИМЯ ЛИЦА - ПЕРВИЧНАЯ ОТВЕТСТВЕННОСТЬ | |
| Начальный элемент ввода | Киреев |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | В. Ю. |
| Даты | 1949- |
| Расширение инициалов личного имени | Валерий Юрьевич |
| 801 #0 - ИСТОЧНИК ЗАПИСИ | |
| Страна | российская федерация |
| Организация | Тюменская ОНБ |
| Дата составления | 20160620 |
| Правила каталогизации | rcr |
| 942 ## - ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЗАПИСИ (АБИС) | |
| Тип экземпляра АБИС | Книга |
| 980 ## - КОЛЛЕКЦИЯ | |
| Название коллекции | НБР |
Нет доступных экземпляров.